一般潔凈度在10000級到100000級，溫濕度控制嚴格，需要很高的潔凈工藝； 由于電子元器件工藝生產(chǎn)技術(shù)的特殊性，它對生產(chǎn)環(huán)境，如潔凈度、溫度、濕度都有嚴格的要求，這直接關(guān)系到晶圓產(chǎn)品的質(zhì)量和壽命，嚴格控制在要求范圍之 內(nèi)。在工程設(shè)計中，暖通空調(diào)擔負著生產(chǎn)區(qū)潔凈度等級和溫度、濕度要求的使命。
潔凈室系統(tǒng)采用集中送風形式。 頂送側(cè)下回風形式；
過濾系統(tǒng)如何選擇
潔凈室系統(tǒng)采用集中送風形式。 頂送側(cè)下回風形式；
維護結(jié)構(gòu)如何選擇
1.萬級、十萬級潔凈室墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板，陰角全部選用圓弧連接；采用回風立柱為回風技術(shù)夾道；
2.地面：一般為pvc防靜電地板或2mm環(huán)氧樹脂自流平地面；
凈化參數(shù)
換氣次數(shù)：100000級≥18次，10000級≥25次；；。
壓差：主車間對相鄰房間≥10Pa
溫度 冬季>16℃；夏季 <26℃；
濕度：不超過50%；噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的10%－30%；照度：不低于300LX；